Если напыление происходит в сверхвысоком вакууме, то скорость напыления должна увеличиваться, чтобы при прочих равных ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Мейер К.N.
Физико-химическая кристаллография
Если напыление происходит в сверхвысоком вакууме, то скорость напыления должна увеличиваться, чтобы при прочих равных условиях опыта добиться ориентированного осаждения.