Интерпретация результатов измерений концентрации й - подвижности носителей заряда в ионно-легированных слоях наталкивается на значительные ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов


Интерпретация результатов измерений концентрации й - подвижности носителей заряда в ионно-легированных слоях наталкивается на значительные трудности. Это связано прежде псего с тем, что распределение носителей заряда в таких слоях неоднородно ввиду гауссовского профиля легирования.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Интерпретация результатов измерений концентрации й - подвижности носителей заряда в ионно-легированных слоях наталкивается на значительные трудности. Это связано прежде псего с тем, что распределение носителей заряда в таких слоях неоднородно ввиду гауссовского профиля легирования.