Фоторезист - это многокомпонентная система, состоящая из полимерной основы и различных добавок, обеспечивающих в первую ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Борисенко А.С. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств


Фоторезист - это многокомпонентная система, состоящая из полимерной основы и различных добавок, обеспечивающих в первую очередь повышение светочувствительности полимеров, а также такие важные качества, как кислотостойкость, вязкость, смачивание и др. В качестве полимерной основы большинства фото-резистивных материалов используют поливиниловый спирт, полиэфиры, полиамиды, фенол формальдегидные и эпоксидные смолы, поливинилацетат, каучуки и др. В настоящее время разработано много светочувствительных композиций, однако далеко не все они могут быть использованы в качестве фоторезистов в производстве интегральных микросхем.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Фоторезист  -  это многокомпонентная система,  состоящая из полимерной основы и различных добавок,  обеспечивающих в первую очередь повышение светочувствительности полимеров,  а также такие важные качества,  как кислотостойкость,  вязкость,  смачивание и др. В качестве полимерной основы большинства фото-резистивных материалов используют поливиниловый спирт,  полиэфиры,  полиамиды,  фенол формальдегидные и эпоксидные смолы,  поливинилацетат,  каучуки и др. В настоящее время разработано много светочувствительных композиций,  однако далеко не все они могут быть использованы в качестве фоторезистов в производстве интегральных микросхем.