Фоторезист - это многокомпонентная система, состоящая из полимерной основы и различных добавок, обеспечивающих в первую ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Борисенко А.С.
Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств
Фоторезист - это многокомпонентная система, состоящая из полимерной основы и различных добавок, обеспечивающих в первую очередь повышение светочувствительности полимеров, а также такие важные качества, как кислотостойкость, вязкость, смачивание и др. В качестве полимерной основы большинства фото-резистивных материалов используют поливиниловый спирт, полиэфиры, полиамиды, фенол формальдегидные и эпоксидные смолы, поливинилацетат, каучуки и др. В настоящее время разработано много светочувствительных композиций, однако далеко не все они могут быть использованы в качестве фоторезистов в производстве интегральных микросхем.