Так как распыление происходит при сравнительно большом давлении, ионы инертного газа, как и распыленные атомы, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Белый А.В.
Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев
Так как распыление происходит при сравнительно большом давлении, ионы инертного газа, как и распыленные атомы, многократно сталкиваются между собой и с нейтральными частицами, в результате чего ионы, бомбардирующие катод, и частицы распыляемого материала теряют энергию. Это, в свою очередь, приводит к снижению скорости распыления и уменьшению адгезии пленок. В связи с этим расстояние между катодом и анодом ( с укрепленными на нем подложками) по возможности должно быть минимальным. Для получения оптимальных условий распыления подбирают соответствующее соотношение между тремя величинами: расстоянием между катодом и анодом, приложенным напряжением и давлением газа.