Так как распыление происходит при сравнительно большом давлении, ионы инертного газа, как и распыленные атомы, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Белый А.В. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев


Так как распыление происходит при сравнительно большом давлении, ионы инертного газа, как и распыленные атомы, многократно сталкиваются между собой и с нейтральными частицами, в результате чего ионы, бомбардирующие катод, и частицы распыляемого материала теряют энергию. Это, в свою очередь, приводит к снижению скорости распыления и уменьшению адгезии пленок. В связи с этим расстояние между катодом и анодом ( с укрепленными на нем подложками) по возможности должно быть минимальным. Для получения оптимальных условий распыления подбирают соответствующее соотношение между тремя величинами: расстоянием между катодом и анодом, приложенным напряжением и давлением газа.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Так как распыление происходит при сравнительно большом давлении,  ионы инертного газа,  как и распыленные атомы,  многократно сталкиваются между собой и с нейтральными частицами,  в результате чего ионы,  бомбардирующие катод,  и частицы распыляемого материала теряют энергию.  Это,  в свою очередь,  приводит к снижению скорости распыления и уменьшению адгезии пленок.  В связи с этим расстояние между катодом и анодом ( с укрепленными на нем подложками) по возможности должно быть минимальным.  Для получения оптимальных условий распыления подбирают соответствующее соотношение между тремя величинами:  расстоянием между катодом и анодом,  приложенным напряжением и давлением газа.