Выдержка из книги
Митрофанов В.В.
Физика и химия полупроводников
Растворение германия и кремния во всех описанных выше тра-вителях происходит с выделением тепла и, согласно сказанному в § 5, энергия активации при этом может быть как угодно мала или равняться нулю. Большие энергии активации, наблюдаемые в перекисных и щелочных травителях, свидетельствуют о том, что процессы разрыва химических связей в исходных соединениях и образование новых, более прочных связей происходят на протяжении нескольких последовательных стадий. При таком способе протекания реакции необходима некоторая энергия активации, расходуемая на разрыв химических связей между атомами в кристалле и молекулах окислителя.
