Пленки двуокиси кремния, полученные термическим окислением кремния или осажденные методом ВЧ распыления чаще всего травятся ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Пленки двуокиси кремния, полученные термическим окислением кремния или осажденные методом ВЧ распыления чаще всего травятся буферными растворами фтористоводородной кислоты. Обычно травление осуществляется смесью 40 % - ного ( по весу) раствора МЩР с концентрированной ( 48 %) HF. Соотношения, как правило, изменяются в пределах от 9 до 12 объемн. Скорости травления термически выращенного окисла и - высококачественных пленок, полученных методом ВЧ распыления, одинаковы и увеличиваются по мере увеличения содержания свободной кислоты.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Пленки двуокиси кремния, полученные термическим окислением кремния или осажденные методом ВЧ распыления чаще всего травятся буферными растворами фтористоводородной кислоты. Обычно травление осуществляется смесью 40 % - ного ( по весу) раствора МЩР с концентрированной ( 48 %) HF. Соотношения, как правило, изменяются в пределах от 9 до 12 объемн. Скорости травления термически выращенного окисла и - высококачественных пленок, полученных методом ВЧ распыления, одинаковы и увеличиваются по мере увеличения содержания свободной кислоты.