Пленки двуокиси кремния, полученные термическим окислением кремния или осажденные методом ВЧ распыления чаще всего травятся ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 1
Пленки двуокиси кремния, полученные термическим окислением кремния или осажденные методом ВЧ распыления чаще всего травятся буферными растворами фтористоводородной кислоты. Обычно травление осуществляется смесью 40 % - ного ( по весу) раствора МЩР с концентрированной ( 48 %) HF. Соотношения, как правило, изменяются в пределах от 9 до 12 объемн. Скорости травления термически выращенного окисла и - высококачественных пленок, полученных методом ВЧ распыления, одинаковы и увеличиваются по мере увеличения содержания свободной кислоты.