Выдержка из книги
Павлов Л.П.
Методы измерения параметров полупроводниковых материалов
Индекс 1 относится к параметрам эпитаксиального слоя, индекс 2 - к параметрам подложки. Условия на свсбодной поверхности подложки не влияют на распределение носителей заряда в эпитаксиальном слое, если толщина подложки достаточно велика.
