Используя давления газа, при которых средняя длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 1
Используя давления газа, при которых средняя длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой с областью ускорения ионов или размерами газоразрядной трубки или превышает их, можно уменьшить или полностью исключить такие недостатки, свойственные тлеющему разряду, как обратная диффузия распыленного материала к мишени, неопределенность в энергиях и углах падения бомбардирующих ионов и эффекты перезарядки в области ускорения ионов. Разряды в трехэлектродной системе создают и поддерживают электроны, испускаемые термоэлектронным катодом, а не вторичные электроны, выбиваемые из холодною катода, как в случае тлеющего разряда.