Используя давления газа, при которых средняя длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Используя давления газа, при которых средняя длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой с областью ускорения ионов или размерами газоразрядной трубки или превышает их, можно уменьшить или полностью исключить такие недостатки, свойственные тлеющему разряду, как обратная диффузия распыленного материала к мишени, неопределенность в энергиях и углах падения бомбардирующих ионов и эффекты перезарядки в области ускорения ионов. Разряды в трехэлектродной системе создают и поддерживают электроны, испускаемые термоэлектронным катодом, а не вторичные электроны, выбиваемые из холодною катода, как в случае тлеющего разряда.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Используя давления газа,  при которых средняя длина свободного пробега ионов и распыленных атомов становится сравнимой с областью ускорения ионов или размерами газоразрядной трубки или превышает их,  можно уменьшить или полностью исключить такие недостатки,  свойственные тлеющему разряду,  как обратная диффузия распыленного материала к мишени,  неопределенность в энергиях и углах падения бомбардирующих ионов и эффекты перезарядки в области ускорения ионов.  Разряды в трехэлектродной системе создают и поддерживают электроны,  испускаемые термоэлектронным катодом,  а не вторичные электроны,  выбиваемые из холодною катода,  как в случае тлеющего разряда.