Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
Механизм анодного растворения германия и кремния в основном был рассмотрен в § 2.2. Наличие внешнего источника тока упрощает управление процессом травления, не внося существенного изменения в его механизм.
