Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
В случае предварительной адсорбции водорода все подобные центры заняты. Более медленная, чем в опытах без водорода, начальная кинетика хемосорбциц кислорода в этом случае может быть объяснена необходимостью освобождения г или s - центров для последующей адсорбции воды. Последнее может быть осуществлено в результате промежуточной реакции образования воды из водорода, предварительно адсорбированного Ge. Синтезированная вода служит дополнительным резервом в последующей реакции окисления Ge по механизму Ба-ха - Энглера. Адсорбция кислорода на предварительно насыщенной водородом поверхности Ge больше, чем без водорода. После образования слоя адсорбированного кислорода пары воды, участвовавшие в реакции, связываются этим слоем в результате его гидратации.
