Изменение твердости в исследованном диапазоне удельного сопротивления имеет монотонный характер, причем величины твердости АЭС и ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Кузнецов Ф.А. Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок Ч 2


Изменение твердости в исследованном диапазоне удельного сопротивления имеет монотонный характер, причем величины твердости АЭС и подложек с одинаковым уровнем легирования совпадают. Результаты измерений твердости эпитаксиальных структур показывают, что твердость АЭС зависит от твердости подложки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Изменение твердости в исследованном диапазоне удельного сопротивления имеет монотонный характер, причем величины твердости АЭС и подложек с одинаковым уровнем легирования совпадают. Результаты измерений твердости эпитаксиальных структур показывают, что твердость АЭС зависит от твердости подложки.