Для размещения заготовок кремния в трубке применяются специальные подставки, конструкция которых должна обеспечивать свободный доступ ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Глебова Г.Д. Производство полупроводниковых приборов


Для размещения заготовок кремния в трубке применяются специальные подставки, конструкция которых должна обеспечивать свободный доступ паров диффундирующего вещества к поверхности кремния. Обычно подставка представляет собой плоскую пластинку из плавленого кварца, снабженную прорезями, при помощи которой заготовки поддерживаются в вертикальном положении параллельно потоку газа-носителя.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Для размещения заготовок кремния в трубке применяются специальные подставки,  конструкция которых должна обеспечивать свободный доступ паров диффундирующего вещества к поверхности кремния.  Обычно подставка представляет собой плоскую пластинку из плавленого кварца,  снабженную прорезями,  при помощи которой заготовки поддерживаются в вертикальном положении параллельно потоку газа-носителя.