Для размещения заготовок кремния в трубке применяются специальные подставки, конструкция которых должна обеспечивать свободный доступ ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Глебова Г.Д.
Производство полупроводниковых приборов
Для размещения заготовок кремния в трубке применяются специальные подставки, конструкция которых должна обеспечивать свободный доступ паров диффундирующего вещества к поверхности кремния. Обычно подставка представляет собой плоскую пластинку из плавленого кварца, снабженную прорезями, при помощи которой заготовки поддерживаются в вертикальном положении параллельно потоку газа-носителя.