Их устойчивость к воде очень различна. В то время как, например, тетраэтилпирофосфат ( ТЭПФ) разлагается водой на 50 % через 100 мин, диизопропилфтор-фосфат - только через 3000 мин. Почти все эфиры фосфорной кислоты неустойчивы к гидролизу. Изменение значения рН, особенно в щелочную область, чрезвычайно сильно ускоряет гидролитическое расщепление. Неустойчивость большинства эфиров фосфорной кислоты по отношению к воде, кислоте и щелочи не уменьшает вероятность их применения в случае химической войны.