Для объяснения этого факта необходим учет влияния электронных состояний диффундирующих атомов, различных дефектов и их ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Сугайто Т.N.
Введение в микроэлектронику
Для объяснения этого факта необходим учет влияния электронных состояний диффундирующих атомов, различных дефектов и их воздействия на механизм диффузии. Экспериментально проверено, что атомы междуузлий I группы и атомы, диффундирующие по вакансиям V группы, находятся в равновесии и могут быть электронейтральными или нести заряд одного или другого вида.