Йзу различают вакуумное испарение и ионное распыление. Вариантами ионного распыления являются катодное, магнетронное, ионно-плазменное и ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Кнунянц Л.И. Химическая энциклопедия Т3


Йзу различают вакуумное испарение и ионное распыление. Вариантами ионного распыления являются катодное, магнетронное, ионно-плазменное и высокочастотное распыление, к-рые отличаются друг от друга условиями формирования и локализацией в пространстве низкотемпературной плазмы. Если распыление проводится в присут.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Йзу различают вакуумное испарение и ионное распыление. Вариантами ионного распыления являются катодное, магнетронное, ионно-плазменное и высокочастотное распыление, к-рые отличаются друг от друга условиями формирования и локализацией в пространстве низкотемпературной плазмы. Если распыление проводится в присут.