Выдержка из книги
Гимпельсон В.Д.
Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники
Так, при исследовании пленок А1 и Аи, используемых в качестве проводников, установлено, что толщина верхнего проводника из алюминия должна быть больше толщины проводника из золота, по крайней мере, в 4 раза. При использовании А1 и Та в качестве нижних проводящих слоев следует учитывать возможность окисления проводников в процессе нанесения диэлектрика и его обработки.
