Одной из характеристик катодного распыления является коэффициент катодного распыления, представляющий собой отношение числа распыленных атомов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Боков Ю.С.
Введение в фотолитографию
Одной из характеристик катодного распыления является коэффициент катодного распыления, представляющий собой отношение числа распыленных атомов к числу бомбардирующих ионов.