Одной из характеристик катодного распыления является коэффициент катодного распыления, представляющий собой отношение числа распыленных атомов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Боков Ю.С. Введение в фотолитографию


Одной из характеристик катодного распыления является коэффициент катодного распыления, представляющий собой отношение числа распыленных атомов к числу бомбардирующих ионов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Одной из характеристик катодного распыления является коэффициент катодного распыления,  представляющий собой отношение числа распыленных атомов к числу бомбардирующих ионов.