Замечено [122], что величина удельного сопротивления свежеосажденных пленок и пленок, обработанных термически при нагреве до ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
Замечено [122], что величина удельного сопротивления свежеосажденных пленок и пленок, обработанных термически при нагреве до 550J С, различается в 1 5 - 2 раза. Эти изменения в электрических свойствах пленок карбида молибдена при термообработке объясняются переходом пленок к более совершенной структуре.
![Замечено [122], что величина удельного сопротивления свежеосажденных пленок и пленок, обработанных термически при нагреве до 550J С, различается в 1 5 - 2 раза. Эти изменения в электрических свойствах пленок карбида молибдена при термообработке объясняются переходом пленок к более совершенной структуре.](/pic/3257850LaD6d3H0044260943.png)