Скорость осаждения определяется скоростью реакции выделения кремния, которая в свою очередь - зависит от концентрации ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Парфенов О.Д. Технология микросхем


Скорость осаждения определяется скоростью реакции выделения кремния, которая в свою очередь - зависит от концентрации SiCl4 в Н2, скорости потока рабочей смеси и температуры подложек.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Скорость осаждения определяется скоростью реакции выделения кремния, которая в свою очередь - зависит от концентрации SiCl4 в Н2, скорости потока рабочей смеси и температуры подложек.