MER / KTFR является так называемый кислородный эффект. Эта реакция по существу происходит в то ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


MER / KTFR является так называемый кислородный эффект. Эта реакция по существу происходит в то нких слоях фоторезиста, около свободной поверхности, и поэтому эта часть остается растворимой в проявителе. Если не прибегать К изменению продолжительности экспонирования, то при работе со слоями фоторезиста около 1 мкм и более кислородный эффект становится не заметным. Однако при работе со слоями толщиной 0 5 мкм и менее, эти слои могут быть уменьшены за счет кислородного эффекта настолько, что покрытия не обеспечат достаточную защиту поверхности пленки при последующем травлении. Избежать появления кислородного эффекта лучше всего удается в том случае, когда вакуумный держатель с фотошаблоном и подложка устанавливаются таким образом, что поверхность раздела фоторезист - фотошаблон находится под пониженным давлением. Однако это менее эффективно, чем применение вакуума.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

MER / KTFR является так называемый кислородный эффект.  Эта реакция по существу происходит в то нких слоях фоторезиста,  около свободной поверхности,  и поэтому эта часть остается растворимой в проявителе.  Если не прибегать К изменению продолжительности экспонирования,  то при работе со слоями фоторезиста около 1 мкм и более кислородный эффект становится не заметным.  Однако при работе со слоями толщиной 0 5 мкм и менее,  эти слои могут быть уменьшены за счет кислородного эффекта настолько,  что покрытия не обеспечат достаточную защиту поверхности пленки при последующем травлении.  Избежать появления кислородного эффекта лучше всего удается в том случае,  когда вакуумный держатель с фотошаблоном и подложка устанавливаются таким образом,  что поверхность раздела фоторезист  -  фотошаблон находится под пониженным давлением.  Однако это менее эффективно,  чем применение вакуума.