Значительный разброс значений диэлектрической проницаемости диэлектриков объясняется как специфическими свойствами тонких пленок, физические свойства которых ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Бондарь Б.Г. Микроэлектроника


Значительный разброс значений диэлектрической проницаемости диэлектриков объясняется как специфическими свойствами тонких пленок, физические свойства которых отличаются от свойств монолитных материалов, так и сложностью оценки толщины тонких диэлектрических пленок, структура - которых весьма неоднородна.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Значительный разброс значений диэлектрической проницаемости диэлектриков объясняется как специфическими свойствами тонких пленок,  физические свойства которых отличаются от свойств монолитных материалов,  так и сложностью оценки толщины тонких диэлектрических пленок,  структура - которых весьма неоднородна.