Возможность групповой обработки ИС обусловлена широким использованием физико-химических процессов ( элитамсия, диффузия, обезжиривание, травление, отмывка), ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Парфенов О.Д.
Технология микросхем
Возможность групповой обработки ИС обусловлена широким использованием физико-химических процессов ( элитамсия, диффузия, обезжиривание, травление, отмывка), в которых в качестве рабочей среды используют газообразные и жидкие вещества. Возможность одновременной обработки больших поверхностей позволяет также вести многоместную обработку нескольких групповых заготовок одновременно на ряде операций.