Возможность групповой обработки ИС обусловлена широким использованием физико-химических процессов ( элитамсия, диффузия, обезжиривание, травление, отмывка), ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Парфенов О.Д. Технология микросхем


Возможность групповой обработки ИС обусловлена широким использованием физико-химических процессов ( элитамсия, диффузия, обезжиривание, травление, отмывка), в которых в качестве рабочей среды используют газообразные и жидкие вещества. Возможность одновременной обработки больших поверхностей позволяет также вести многоместную обработку нескольких групповых заготовок одновременно на ряде операций.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Возможность групповой обработки ИС обусловлена широким использованием физико-химических процессов ( элитамсия,  диффузия,  обезжиривание,  травление,  отмывка),  в которых в качестве рабочей среды используют газообразные и жидкие вещества.  Возможность одновременной обработки больших поверхностей позволяет также вести многоместную обработку нескольких групповых заготовок одновременно на ряде операций.