Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 2
Если осаждение происходит в системе, в которой остаточное давление rasa достаточно велико для того, чтобы произошла конденсация атомов пара в маленькие частицы, что сходно с образованием дыма, то следует ожидать появления очень пористой структуры с очень большой площадью внутренней поверхности, так как частицы на поверхности будут упакованы не плотно, оставляя много пустых мест. Это, в частности, справедливо, если температура подложки настолько низка, что существенное изменение расположения атомов после осаждения маловероятно. Действительно, при выращивании пленки никеля при комнатной температуре в атмосфере азота с давлением в I мм рт. ст., наблюдалась очень сильная зависимость площади поверхности пленки от толщины.
