Качество обработки поверхности подложки также влияет на скорость роста пленки: чем выше класс точности обработки ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике


Качество обработки поверхности подложки также влияет на скорость роста пленки: чем выше класс точности обработки поверхности, тем медленнее растет пленка при фиксированной температуре.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Качество обработки поверхности подложки также влияет на скорость роста пленки:  чем выше класс точности обработки поверхности,  тем медленнее растет пленка при фиксированной температуре.