Качество обработки поверхности подложки также влияет на скорость роста пленки: чем выше класс точности обработки ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
Качество обработки поверхности подложки также влияет на скорость роста пленки: чем выше класс точности обработки поверхности, тем медленнее растет пленка при фиксированной температуре.