Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
Пленки осаждали па монокристаллах кремния и германия, а также на тонких ( до 0 3 мкм) поликри-сталлпческих слоях золота, алюминия, хрома и никеля, нанесенных на ситалл, стек. При этом пленки золота и алюминия напыляли термическим испарением в вакууме - 10 - и мм рт. ст. на нагретые до 2Г) () С подложки, а пленки хрома и никеля - термическим разложением паров б / / с-бензолхрома и пнкелоцепа при температуре подложки 420 С и рабочем вакууме 10 - мм рт. ст. В качестве исходного вещества также использовали прониопат цинка, нагревая его до температуры 200 С. Опыты при температурах подложки 480, 500, 520 и 540 С показали, что состав и свойства пленок окиси цинка весьма чувствительны к температуре. С на германии образуется прозрачная сплошная однородная II оптически плотная пленка окиси пипка.