Пленки осаждали па монокристаллах кремния и германия, а также на тонких ( до 0 3 ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике


Пленки осаждали па монокристаллах кремния и германия, а также на тонких ( до 0 3 мкм) поликри-сталлпческих слоях золота, алюминия, хрома и никеля, нанесенных на ситалл, стек. При этом пленки золота и алюминия напыляли термическим испарением в вакууме - 10 - и мм рт. ст. на нагретые до 2Г) () С подложки, а пленки хрома и никеля - термическим разложением паров б / / с-бензолхрома и пнкелоцепа при температуре подложки 420 С и рабочем вакууме 10 - мм рт. ст. В качестве исходного вещества также использовали прониопат цинка, нагревая его до температуры 200 С. Опыты при температурах подложки 480, 500, 520 и 540 С показали, что состав и свойства пленок окиси цинка весьма чувствительны к температуре. С на германии образуется прозрачная сплошная однородная II оптически плотная пленка окиси пипка.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Пленки осаждали па монокристаллах кремния и германия,  а также на тонких ( до 0 3 мкм) поликри-сталлпческих слоях золота,  алюминия,  хрома и никеля,  нанесенных на ситалл,  стек.  При этом пленки золота и алюминия напыляли термическим испарением в вакууме    -  10 - и мм рт. ст. на нагретые до 2Г) () С подложки,  а пленки хрома и никеля  -  термическим разложением паров б / / с-бензолхрома и пнкелоцепа при температуре подложки 420 С и рабочем вакууме 10    -  мм рт. ст. В качестве исходного вещества также использовали прониопат цинка,   нагревая его до температуры 200 С.  Опыты при температурах подложки 480,  500,  520 и 540 С показали,  что состав и свойства пленок окиси цинка весьма чувствительны к температуре.  С на германии образуется прозрачная сплошная однородная II оптически плотная пленка окиси пипка.