Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 2
В качестве внешних выводов для пленок Мо - Аи используется золотая проволока. Описаны различные варианты этой системы металлизации. Например, перед ланесе-нием молибдена на кремний для обеспечения хорошего омического контакта часто применяют подслой из платины или алюминия.
