Термическое окисление кремния может выполняться в однозонных диффузионных печах. - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Сыроватченко П.В. Справочник технолога-приборостроителя Том 2


Термическое окисление кремния может выполняться в однозонных диффузионных печах.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Термическое окисление кремния может выполняться в однозонных диффузионных печах.