Это создание на поверхности подложки защитной маски малых размеров практически любой сложности, используемой в дальнейшем ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Калниболотский Ю.М. Расчет и проектирование микросхем


Это создание на поверхности подложки защитной маски малых размеров практически любой сложности, используемой в дальнейшем для проведения локальных процессов травления, диффузии, эпитаксии и др. Образуется она с помощью фоточувствительного слоя ( фоторезиста), который под действием света изменяет свою структуру. По способности изменять свойства при облучении фоторезисты бывают негативные и позитивные.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Это создание на поверхности подложки защитной маски малых размеров практически любой сложности,  используемой в дальнейшем для проведения локальных процессов травления,  диффузии,  эпитаксии и др. Образуется она с помощью фоточувствительного слоя ( фоторезиста),  который под действием света изменяет свою структуру.  По способности изменять свойства при облучении фоторезисты бывают негативные и позитивные.