Это создание на поверхности подложки защитной маски малых размеров практически любой сложности, используемой в дальнейшем ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Калниболотский Ю.М.
Расчет и проектирование микросхем
Это создание на поверхности подложки защитной маски малых размеров практически любой сложности, используемой в дальнейшем для проведения локальных процессов травления, диффузии, эпитаксии и др. Образуется она с помощью фоточувствительного слоя ( фоторезиста), который под действием света изменяет свою структуру. По способности изменять свойства при облучении фоторезисты бывают негативные и позитивные.