Рисунок первого сигнального слоя получают методом фотолитографии, причем слой моноокиси кремния в дальнейшем будет использоваться ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Гимпельсон В.Д.
Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники
Рисунок первого сигнального слоя получают методом фотолитографии, причем слой моноокиси кремния в дальнейшем будет использоваться в качестве первого слоя составного диэлектрика, а тонкая пленка алюминия ( на рис. 144 не показана) является маской для травления моноокиси кремния.