Рисунок первого сигнального слоя получают методом фотолитографии, причем слой моноокиси кремния в дальнейшем будет использоваться ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гимпельсон В.Д. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники


Рисунок первого сигнального слоя получают методом фотолитографии, причем слой моноокиси кремния в дальнейшем будет использоваться в качестве первого слоя составного диэлектрика, а тонкая пленка алюминия ( на рис. 144 не показана) является маской для травления моноокиси кремния.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Рисунок первого сигнального слоя получают методом фотолитографии,  причем слой моноокиси кремния в дальнейшем будет использоваться в качестве первого слоя составного диэлектрика,  а тонкая пленка алюминия ( на рис. 144 не показана) является маской для травления моноокиси кремния.