Для получения однородного рекристаллизованного слоя важно-также следующее. Если напыление и вплавление производят отдельно, то обычно ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Глебова Г.Д.
Производство полупроводниковых приборов
Для получения однородного рекристаллизованного слоя важно-также следующее. Если напыление и вплавление производят отдельно, то обычно растворение кремния алюминием неравномерно. Такой случай приведен на фиг. Однако слегка изменив процесс, можно добиться хорошей равномерности вплавления. Для этого непосредственно перед напылением следует прогреть кремний в течение 15 мин.
