Очевидно, что дифракция более важна для низкоэнергетич-ных электронов и особенно для очень маленьких апертур пучка. ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Силадьи М.N. Электронная и ионная оптика


Очевидно, что дифракция более важна для низкоэнергетич-ных электронов и особенно для очень маленьких апертур пучка. Для того чтобы увеличить ток зонда, обычно стараются использовать настолько большие апертуры, насколько это возможно. По мере увеличения апертуры дифракция становится все менее и менее значительной, но в то же время сферическая аберрация становится доминирующей. При малых энергиях и относительно малых апертурах обычно нельзя пренебрегать аксиальной хроматической аберрацией, таким образом, дифракция неотделима от этой аберрации. Конкуренция между различными типами аберраций будет рассмотрена в разд. Тем не менее должно быть очевидным, что, так как дифракцию нельзя устранить или исправить, очень важно иметь линзы с минимально возможными коэффициентами геометрической и хроматической аберраций. Тщательно сконструированные линзы с незначительными аберрациями позволяют работать при больших апертурах, для которых дифракционный диск пренебрежимо мал.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Очевидно,  что дифракция более важна для низкоэнергетич-ных электронов и особенно для очень маленьких апертур пучка.  Для того чтобы увеличить ток зонда,  обычно стараются использовать настолько большие апертуры,  насколько это возможно.  По мере увеличения апертуры дифракция становится все менее и менее значительной,  но в то же время сферическая аберрация становится доминирующей.  При малых энергиях и относительно малых апертурах обычно нельзя пренебрегать аксиальной хроматической аберрацией,  таким образом,  дифракция неотделима от этой аберрации.  Конкуренция между различными типами аберраций будет рассмотрена в разд.  Тем не менее должно быть очевидным,  что,  так как дифракцию нельзя устранить или исправить,  очень важно иметь линзы с минимально возможными коэффициентами геометрической и хроматической аберраций.  Тщательно сконструированные линзы с незначительными аберрациями позволяют работать при больших апертурах,  для которых дифракционный диск пренебрежимо мал.