Необходимы исследования по выяснению влияния этих процессов на электрофизические и структурные свойства эпитаксиальных пленок и ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Вавилов В.С.
Дефекты в кремнии и на его поверхности
Необходимы исследования по выяснению влияния этих процессов на электрофизические и структурные свойства эпитаксиальных пленок и границ раздела слой - подложка. Серьезным ограничением для использования гетероструктур остается требование к снижению температуры технологических процессов в целях предотвращения автолегирования примесями из подложки.
