Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 2
В общем случае атомы пара падают на поверхность подложки с энергиями, значительно большими kT, где Т - температура подложки. Поэтому возникает вопрос, сможет ли такой атом пара достаточно быстро придти в равновесие с подложкой так, чтобы смогла произойти его адсорбция, или он отразится от подложки, не отдав ей при этом всей своей запасенной энергии.
