Плотность пленок значительно меньше, чем плотность массивного металла. На плотность пленки оказывают существенное влияние режимы ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гаврилов А.Н. Приборостроение и средства автоматики Т 3 Кн. 2


Плотность пленок значительно меньше, чем плотность массивного металла. На плотность пленки оказывают существенное влияние режимы технологического процесса получения пленки. Например, при больших скоростях осаждения образуются более крупные и равномерно распределенные кристаллы, компактно и плотно связанные между собой. Зависимость плотности пленки алюминия от скорости образования ее при одинаковых толщинах приведена на фиг.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Плотность пленок значительно меньше,  чем плотность массивного металла.  На плотность пленки оказывают существенное влияние режимы технологического процесса получения пленки.  Например,  при больших скоростях осаждения образуются более крупные и равномерно распределенные кристаллы,  компактно и плотно связанные между собой.  Зависимость плотности пленки алюминия от скорости образования ее при одинаковых толщинах приведена на фиг.