Плотность пленок значительно меньше, чем плотность массивного металла. На плотность пленки оказывают существенное влияние режимы ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Гаврилов А.Н.
Приборостроение и средства автоматики Т 3 Кн. 2
Плотность пленок значительно меньше, чем плотность массивного металла. На плотность пленки оказывают существенное влияние режимы технологического процесса получения пленки. Например, при больших скоростях осаждения образуются более крупные и равномерно распределенные кристаллы, компактно и плотно связанные между собой. Зависимость плотности пленки алюминия от скорости образования ее при одинаковых толщинах приведена на фиг.