Аннигиляция избыточных вакансий различно влияет на знак напряжений. При выходе вакансий на наружную поверхность пленки, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Материаловедение в микроэлектронике


Аннигиляция избыточных вакансий различно влияет на знак напряжений. При выходе вакансий на наружную поверхность пленки, на внутренние поверхности раздела или при их стоке к линиям краевых дислокаций удельный объем конденсата уменьшается - появляются растягивающие напряжения. Поэтому коалесценция вакансий вызывает сжимающие напряжения.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Аннигиляция избыточных вакансий различно влияет на знак напряжений.  При выходе вакансий на наружную поверхность пленки,  на внутренние поверхности раздела или при их стоке к линиям краевых дислокаций удельный объем конденсата уменьшается  -  появляются растягивающие напряжения.  Поэтому коалесценция вакансий вызывает сжимающие напряжения.