Аннигиляция избыточных вакансий различно влияет на знак напряжений. При выходе вакансий на наружную поверхность пленки, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
Аннигиляция избыточных вакансий различно влияет на знак напряжений. При выходе вакансий на наружную поверхность пленки, на внутренние поверхности раздела или при их стоке к линиям краевых дислокаций удельный объем конденсата уменьшается - появляются растягивающие напряжения. Поэтому коалесценция вакансий вызывает сжимающие напряжения.