Сначала на подложке формируется тонкая вольфрамовая пленка, затем литографским методом ей придается зигзагообразная форма и, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Быстров Ю.А.
Электронные приборы для отображения информации
Сначала на подложке формируется тонкая вольфрамовая пленка, затем литографским методом ей придается зигзагообразная форма и, наконец, под пленкой стравливается подложка. Свечение ограничено центральной областью и имеет вид пятна диаметром 0 5 мм. Поэтому оказывается возможным создание индикатора матричного типа.