Выдержка из книги
Моряков О.С.
Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства Издание 2
Печь состоит из корпуса / с приборным щитом 6, рабочего канала, конвейера 2 с приводом, водяной и газовой систем и электросилового блока с системой терморегулирования.