Формирование слоя фоторезиста: обработка поверхности подложек; нанесение и первая сушка слоя фоторезиста. - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Формирование слоя фоторезиста: обработка поверхности подложек; нанесение и первая сушка слоя фоторезиста.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Формирование слоя фоторезиста:  обработка поверхности подложек;  нанесение и первая сушка слоя фоторезиста.