Плоскопараллельность пластин регламентируется отклонением от плоскости не более 1 мкм по всему диаметру пластины. Это ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
Плоскопараллельность пластин регламентируется отклонением от плоскости не более 1 мкм по всему диаметру пластины. Это требование становится наиболее трудно выполнимым при переходе на пластины диаметром 80 - 110 мм и более.