Плоскопараллельность пластин регламентируется отклонением от плоскости не более 1 мкм по всему диаметру пластины. Это ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Плоскопараллельность пластин регламентируется отклонением от плоскости не более 1 мкм по всему диаметру пластины. Это требование становится наиболее трудно выполнимым при переходе на пластины диаметром 80 - 110 мм и более.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Плоскопараллельность пластин регламентируется отклонением от плоскости не более 1 мкм по всему диаметру пластины.  Это требование становится наиболее трудно выполнимым при переходе на пластины диаметром 80 - 110 мм и более.