Конденсированные пленки германия с удовлетворительными электрическими свойствами, насколько нам известно, получить не удалось. К тому ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Эпитаксиальные пленки


Конденсированные пленки германия с удовлетворительными электрическими свойствами, насколько нам известно, получить не удалось. К тому же слабо изучено влияние давления остаточных газов на степень структурного совершенства и свойства германиевых пленок, хотя это давление тоже значительно влияет на процесс роста. Это видно из следующего примера. При VK 10 А / сек и р 10 - 5лш рт. ст. скорости появления на подложке атомов германия и остаточных газов сравнимы между собой. Известно также, что по мере понижения остаточного давления при конденсации кремния степень структурного совершенства образующихся пленок существенно возрастает.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Конденсированные пленки германия с удовлетворительными электрическими свойствами,  насколько нам известно,  получить не удалось.  К тому же слабо изучено влияние давления остаточных газов на степень структурного совершенства и свойства германиевых пленок,  хотя это давление тоже значительно влияет на процесс роста.  Это видно из следующего примера.  При VK 10 А / сек и р 10 - 5лш рт. ст. скорости появления на подложке атомов германия и остаточных газов сравнимы между собой.  Известно также,  что по мере понижения остаточного давления при конденсации кремния степень структурного совершенства образующихся пленок существенно возрастает.