Конденсированные пленки германия с удовлетворительными электрическими свойствами, насколько нам известно, получить не удалось. К тому ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
Конденсированные пленки германия с удовлетворительными электрическими свойствами, насколько нам известно, получить не удалось. К тому же слабо изучено влияние давления остаточных газов на степень структурного совершенства и свойства германиевых пленок, хотя это давление тоже значительно влияет на процесс роста. Это видно из следующего примера. При VK 10 А / сек и р 10 - 5лш рт. ст. скорости появления на подложке атомов германия и остаточных газов сравнимы между собой. Известно также, что по мере понижения остаточного давления при конденсации кремния степень структурного совершенства образующихся пленок существенно возрастает.