Метод многолучевой интерференции основан на интерференции многих пучков. Это достигается помещением на пути лучей плоской ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Рыбакова Л.М.
Структура и износостойкость металла
Метод многолучевой интерференции основан на интерференции многих пучков. Это достигается помещением на пути лучей плоской эталонной пластинки, которая частично пропускает, а частично отражает лучи света на поверхность образца. Пластинку и образец располагают под небольшим углом друг к Другу, не превышающим обычно одну или две длины волны света. Между эталонной плоской пластинкой и образцом происходит многократное отражение светового луча. Соответственно замеряемая разница в уровнях рельефа поверхности составляет величину около 0 5 нм; следовательно, можно исследовать весьма тонкие детали микрорельефа поверхности.