Выдержка из книги
Хамакава И.N.
Аморфные полупроводники и приборы на их основе
Ширина запрещенной зоны в пленках на основе этилена оказывается больше, так как концентрация атомов углерода в исходной газовой смеси выше, чем в газовой смеси на основе метана. Особенно интересным является то, что оптическая ширина запрещенной зоны в пленках a - Sii xCx: Н, легированных бором и осажденных из газовой смеси на основе этилена состава х 0 5, больше ширины запрещенной зоны нелегированных пленок, а при х 0 5 - меньше. Концентрация атомов водорода, присоединенных к кремнию от легирования бором не зависит. Легирование бором оказывает влияние на число связей атомов водорода с атомами углерода.
