На рис. 5.1 показана схема типичной установки напыления. Распыляемый материал помещают в маленькую лодочку из ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Курносов А.И. Полупроводниковая микроэлектроника


На рис. 5.1 показана схема типичной установки напыления. Распыляемый материал помещают в маленькую лодочку из тугоплавкого материала, например, вольфрама, молибдена или тантала. Могут быть также использованы навитые из проволоки ( из этих же материалов) нагреватели - коническая корзина или спиральная катушка. В этом случае распыляемый металл подвешивается на одном из витков нагревателей. После закрепления подложки на ее поверхность осуществлятся напыление металлической пленки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

На рис. 5.1 показана схема типичной установки напыления.  Распыляемый материал помещают в маленькую лодочку из тугоплавкого материала,  например,  вольфрама,  молибдена или тантала.  Могут быть также использованы навитые из проволоки ( из этих же материалов) нагреватели  -  коническая корзина или спиральная катушка.  В этом случае распыляемый металл подвешивается на одном из витков нагревателей.  После закрепления подложки на ее поверхность осуществлятся напыление металлической пленки.