На рис. 5.1 показана схема типичной установки напыления. Распыляемый материал помещают в маленькую лодочку из ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Курносов А.И.
Полупроводниковая микроэлектроника
На рис. 5.1 показана схема типичной установки напыления. Распыляемый материал помещают в маленькую лодочку из тугоплавкого материала, например, вольфрама, молибдена или тантала. Могут быть также использованы навитые из проволоки ( из этих же материалов) нагреватели - коническая корзина или спиральная катушка. В этом случае распыляемый металл подвешивается на одном из витков нагревателей. После закрепления подложки на ее поверхность осуществлятся напыление металлической пленки.