Реакции образования покрытий из газовой фазы возможны при более низких температурах, если реакционной системе придать ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Аппен А.А.
Температуроустойчивые неорганические покрытия
Реакции образования покрытий из газовой фазы возможны при более низких температурах, если реакционной системе придать энергию электрических газовых разрядов. На практике прибегают к воздействию на газовые системы как разрядов постоянного тока ( в том числе тлеющих), так и высокочастотных. Различные варианты реализации этих процессов известны как технология разложения газовых смесей в низкотемпературной плазме газового разряда.
