Пленки, содержащие А12 03 и TiC в соотношении 1: 1 по массе, осаждают ионно-плазменным распылением ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Капарисов С.С. Карбид титана Получение, свойства, применение


Пленки, содержащие А12 03 и TiC в соотношении 1: 1 по массе, осаждают ионно-плазменным распылением на нагретые до 600 С поли-коровые подложки. Пленки TiC - А120з, толщина которых составляет 20 - 300 нм, имеют электронографически аморфную структуру, сохраняющуюся до 1000 С. Эти пленки значительно превосходят по стабильности структуры пленки традиционных резисторов Ti - Al203, в которых при 1000 С наблюдается увеличение размера зерен до 50 нм и изменение фазового состава.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Пленки, содержащие А12 03 и TiC в соотношении 1: 1 по массе, осаждают ионно-плазменным распылением на нагретые до 600 С поли-коровые подложки. Пленки TiC - А120з, толщина которых составляет 20 - 300 нм, имеют электронографически аморфную структуру, сохраняющуюся до 1000 С. Эти пленки значительно превосходят по стабильности структуры пленки традиционных резисторов Ti - Al203, в которых при 1000 С наблюдается увеличение размера зерен до 50 нм и изменение фазового состава.