Особенностью данного процесса эпитаксии является большое насыщение эпитаксиального слоя металлом, создающим жидкую фазу. Кос-селя на ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Кузнецов Ф.А. Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок Ч 2


Особенностью данного процесса эпитаксии является большое насыщение эпитаксиального слоя металлом, создающим жидкую фазу. Кос-селя на отражение было рассчитано изменение параметра автоэпитак-сиального слоя германия при росте через олово по сравнению с нелегированным германием. Содержание олова в автоэпитаксиальном слое германия, оцененное по закону Вегарда в области твердых растворов, составило 0 87 ат. Использование олова удобно тем, что, несмотря на его высокое содержание в германии, оно не изменяет тип проводимости германия.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Особенностью данного процесса эпитаксии является большое насыщение эпитаксиального слоя металлом, создающим жидкую фазу. Кос-селя на отражение было рассчитано изменение параметра автоэпитак-сиального слоя германия при росте через олово по сравнению с нелегированным германием. Содержание олова в автоэпитаксиальном слое германия, оцененное по закону Вегарда в области твердых растворов, составило 0 87 ат. Использование олова удобно тем, что, несмотря на его высокое содержание в германии, оно не изменяет тип проводимости германия.