Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
НЮ зв) пленка карбида молибдена образуется и при температурах ниже 250 С. С увеличением плотности тока электронного луча скорость роста пленки карбида молибдена возрастает и разница между скоростями роста при облучении и без него увеличивается, в то время как рост давления паров гексакарбопила молибдена в рабочей камере вызывает увеличение скорости роста пленки в обоих случаях.