Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
Режим осаждения пленок был следующим: плотность тока электронного луча 1 2 ма / см2, ускоряющее напряжение 500, давление паров Мо ( ( Х)) в составляло 10 3 мм рт. ст. При температурах от - 25 до - - 30 ( 1 ( рис. 7 - 14, область /) скорость роста пленки карбида молибдена экспоненциально падает с повышением температуры. Возможно, что в этой области скорость роста определяется разложением молекул Мо ( СО) в не на подложке, а в объеме рабочей камеры. При температурах подложки выше 100 С ( область III) скорость роста пленки увеличивается по мере повышения температуры подложки.
