У платиновых пленок они были выше, чему пленок хрома, но более чувствительны к изменениям температуры. ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 2


У платиновых пленок они были выше, чему пленок хрома, но более чувствительны к изменениям температуры. Мембрана жестко закреплялась на краях, так что смещение центральной части при изменении давления газа создавало противоположные по чнаку поперечные деформации плеч моста и, следовательно, на выходе появлялся сигнал. Были также исследованы обычные тензодатчики [51], состоящие из последовательно соединенных зигзагообразных пленок висмута толщиной 0 5 - 1 мкм, используемых в качестве пьезосопротивлений и расположенных таким образом, что одноосные деформации вызывали как продольные, так и поперечные деформации в пленках Bi. Такое расположение было выбрано для того, чтобы нежелательные случайные эффекты взаимно уничтожались.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

У платиновых пленок они были выше, чему пленок хрома, но более чувствительны к изменениям температуры. Мембрана жестко закреплялась на краях, так что смещение центральной части при изменении давления газа создавало противоположные по чнаку поперечные деформации плеч моста и, следовательно, на выходе появлялся сигнал. Были также исследованы обычные тензодатчики [51], состоящие из последовательно соединенных зигзагообразных пленок висмута толщиной 0 5 - 1 мкм, используемых в качестве пьезосопротивлений и расположенных таким образом, что одноосные деформации вызывали как продольные, так и поперечные деформации в пленках Bi. Такое расположение было выбрано для того, чтобы нежелательные случайные эффекты взаимно уничтожались.