Выдержка из книги
Москалев В.А.
Прикладная физическая оптика
Используют ступенчатые клинья из полиметилметакри-лата с пределами измерения 15 - 90, 25 - 130 и 25 - 250 нм соответственно. Погрешность определения разности хода с применением ступенчатых клиньев составляет 15 нм при максимальной разности хода до 140 нм и 25 нм при максимальной разности хода до 250 нм.